氦质谱检漏仪
H230D氦质谱检漏仪，前级泵采用涡旋干泵，专用航空小推车，设计防撞和减震，以及独特方便的移动和自锁功能，有很好的通过性，灵敏度高、操作便捷，分体模块化设计，便于整体维护，核心部件采用德系进口品牌，保持长期稳定专业工作。
产品特色
·H230D分体设计，可移动自锁航空推车，便于移动固定；
·前级泵采用干泵，避免油气排放污染工作环境；
·人性化操作软件，图标简易，界面直观，设置操作简单；
·正压/负压检测模式，可随意设定转换；
·质谱采用180°非均匀磁场和全自动化操作，测试精度高；
·双铱丝灯丝，可随意切换；
·自动氦峰扫描、校准，以及量程切换；
·R232、485、USB接口，便于系统集成；
运用行业
产品广泛应用于科研院所、航空航天、半导体，医疗、微电子等。
规格参数
指标
参数
最小可检漏率
负压模式
5*10-13Pam3/s
正压模式
5*10-9Pam3/s
检漏口压强
粗检（Gross模式）
1500Pa
中检（Fine模式）
200Pa
精检（Ultra模式）
40Pa
启动时间
≤2Min
响应时间
≤0.5s
显示范围
1×10-3～1×10-13Pa·m3/s
压力单位
Pa、atm、mbar
漏率单位
Pa·m3/s、mbarL/s、atm.cc/s、ppm
前级泵抽速（涡旋干泵）
15m3/h(4L/s)
检漏口规格
DN 25 ISO-KF（KF25）
电源
AC 220V±10%50HZ
最大功率
1000W
尺寸（长*宽*高）
845mm*465mm*988mm
重量
80kg
温度
5-40℃
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